Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.
Godina:
1979
Izdavač:
Энергия
Jezik:
russian
Fajl:
PDF, 35.64 MB
IPFS:
,
russian, 1979
Litres
Želite da dodate knjižaru? Kontaktirajte nas na support@z-lib.do
File converter
Više rezultata pretrage
More benefits 
